專注于提高半導(dǎo)體工具正常運(yùn)行和產(chǎn)量已10年

電子組裝和半導(dǎo)體制程設(shè)備的智能檢測(cè)和傳感器解決方案全球領(lǐng)導(dǎo)者CyberOptics Corporation(NASDAQ: CYBE)，慶祝WaferSense和ReticleSense測(cè)量產(chǎn)品組合打入全球半導(dǎo)體市場(chǎng)10周年里程碑。在即將于3月18至20日在中國(guó)上海舉行的中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料展覽會(huì)暨研討會(huì)(Semicon China)上，CyberOptics將在上海新國(guó)際博覽中心Puritic Shanghai Corporation的4535號(hào)展位和衛(wèi)利國(guó)際科貿(mào)（上海）有限公司的2124號(hào)展位上展示其測(cè)量設(shè)備系列。這些測(cè)量設(shè)備提供水準(zhǔn)測(cè)量、間隙測(cè)量、機(jī)器人教學(xué)、震動(dòng)測(cè)量和空氣顆粒檢測(cè)解決方案。

半導(dǎo)體制造商和原始設(shè)備制造商(OEM)非常重視WaferSense和ReticleSense專業(yè)測(cè)量產(chǎn)品組合的準(zhǔn)確性、精確度和多功能性。這些產(chǎn)品組合能夠提高產(chǎn)量，延長(zhǎng)設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間。

CyberOptics總裁兼首席執(zhí)行官Subodh Kulkarni表示：“CyberOptics已做好充分準(zhǔn)備延續(xù)我們的30年創(chuàng)新歷史和WaferSense與 ReticleSense上市10年的輝煌成就。我們的歷史是下一次出發(fā)的起點(diǎn)，我們基于公司的悠久歷史進(jìn)一步改善我們的測(cè)量傳感器技術(shù)平臺(tái)，以推出新的創(chuàng)新解決方案，滿足半導(dǎo)體行業(yè)和其他垂直市場(chǎng)的關(guān)鍵應(yīng)用需求。這些行業(yè)和市場(chǎng)都有嚴(yán)格的制造質(zhì)量和生產(chǎn)力標(biāo)準(zhǔn)。”

CyberOptics亞洲銷售總監(jiān)Ferris Chen表示：“10年來，半導(dǎo)體制造商和設(shè)備OEM通過使用WaferSense和ReticleSense測(cè)量解決方案節(jié)省了大量時(shí)間和資金。我們的產(chǎn)品組合中較新增加的ReticleSense空氣顆粒傳感器(APSR)采用光罩外形，使設(shè)備工程師能夠縮短設(shè)備質(zhì)檢時(shí)間、投產(chǎn)時(shí)間和維修周期，同時(shí)降低費(fèi)用。例如，與傳統(tǒng)的表面掃描晶圓法相比，采用WaferSense空氣顆粒傳感器(APS)的客戶節(jié)約了88%的時(shí)間，降低了高達(dá)95%的成本，產(chǎn)量提升20倍，同時(shí)人力資源需求減少了一半。”

與傳統(tǒng)方法不同的是，使用具有藍(lán)牙功能的無線ReticleSense空氣顆粒傳感器(APSR)和ParticleView™軟件，設(shè)備工程師無需打開設(shè)備就能夠快速定位污染源，了解清洗調(diào)整的效果，并實(shí)施實(shí)時(shí)修復(fù)。

WaferSense測(cè)量產(chǎn)品組合包括自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)(ALS)、自動(dòng)間隙調(diào)整系統(tǒng)(AGS)、自動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)(AVS)、自動(dòng)教學(xué)系統(tǒng)(ATS)和空氣顆粒傳感器(APS) ，提供200mm、300mm和450mm晶圓尺寸。ReticleSense空氣顆粒傳感器(APSR)和ReticleSense自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng) (ALSR)產(chǎn)品采用光罩外形。

關(guān)于Puritic Shanghai Corporation

Puritic Shanghai Corp.成立于1996年，是臺(tái)灣和淞科技公司(Taiwan Puritic Corp.)旗下子公司。公司從事半導(dǎo)體原材料和設(shè)備的供應(yīng)，包括管材、閥門和連接件、管接頭、泵、流量計(jì)、氣體凈化器和洗滌器等。其產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榘雽?dǎo)體工廠和光電廠的工具系統(tǒng)。

關(guān)于衛(wèi)利國(guó)際科貿(mào)（上海）有限公司

衛(wèi)利公司成立于1982年，如今通過24個(gè)直銷辦事處、5個(gè)支持中心和一家制袋工廠服務(wù)于中國(guó)大陸和香港市場(chǎng)。公司致力于為電子工業(yè)、TFT-LCD、制藥業(yè)和工業(yè)細(xì)分市場(chǎng)提供微污染控制整體解決方案。公司與全球領(lǐng)先的供應(yīng)商開展密切合作，為我們的客戶提供產(chǎn)品、技術(shù)分享、培訓(xùn)和物流服務(wù)。

關(guān)于CyberOptics

CyberOptics Corporation成立于1984年，是一家領(lǐng)先的傳感器和檢測(cè)系統(tǒng)供應(yīng)商，為全球電子組裝和半導(dǎo)體資本設(shè)備市場(chǎng)提供能夠提升制程產(chǎn)量和處理量的解決方案。該公司正在將自身調(diào)整為一家面向電子和通用計(jì)量市場(chǎng)的高精度專有3D傳感器開發(fā)商和制造商。該公司總部位于明尼蘇達(dá)明尼阿波利斯，通過在北美、亞洲和歐洲的部門開展全球運(yùn)營(yíng)。