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CyberOptics將在SPIE高級光刻展會上演示新的ReticleSense空氣顆粒傳感器(APSR)

2014年02月24日09:51:22 本網站 我要評論(2)字號:T | T | T
關鍵字:半導體 傳感器 

這一新系統能幫助光刻工程師改善系統設置,增加長期產量


電子組裝和半導體制程設備的智能檢測和感應解決方案全球領導者CyberOptics® Corporation (NASDAQ:CYBE)將在即將于2月23日27日在加州圣荷西舉辦的SPIE高級光刻展會第305號展位上演示ReticleSense™空氣顆粒傳感器(APSR)。使用APSR,光刻工程師能夠監測半導體制程設備內光罩所能到達位置的空氣顆粒情況,從而改善系統設置,增加長期產量。

 

CyberOptics總裁兼首席執行官Subodh Kulkarni表示:“CyberOptics利用其當前的WaferSense®晶圓形空氣顆粒傳感器(APS)技術,打造出了光罩形狀的APS。該產品是根據與光刻制程有關的半導體業世界領先公司的意見開發而成的。CyberOptics將在開創各項技術的豐富歷史經驗的基礎上,繼續開發高效的創新型解決方案,提升半導體工廠的生產效率,盡可能地減少半導體工廠的前期投資,削減成本。”

 

光刻工程師可放心地依賴此項專有技術,該技術是2011年推出的經過實踐檢驗的WaferSense晶圓形空氣顆粒傳感器(APS)設備的進一步拓展,并且已經在全球各地的半導體工廠使用,包括三家較大的制造商,無污染環境對這些工廠來說至關重要。

 

CyberOptics銷售和營銷總監Mark Hannaford表示:“與傳統方法不同,ReticleSense APSR可以讓用戶快速找出光罩環境下的地理顆粒源。此外,APSR能夠抵達光罩可以前往的任何位置,能夠采用任何光罩的運送方式運送,因而無需打開工具。使用ReticleSense和WaferSense測量設備的潛在好處包括提升工具的正常工作時間、優化維護作業和增加產量!

 

除了新推出的ReticleSense APSR,CyberOptics還將展示其整個WaferSense產品系列。其中包括從2004年起便被半導體業采用的WaferSense晶圓形產品,該產品可提供水準測量、間隙測量、機器人教學、震動測量和空氣顆粒檢測解決方案。WaferSense產品提供200毫米、300毫米450毫米晶圓尺寸。

 

關于CyberOptics

 

CyberOptics Corporation成立于1984年,是一家領先的傳感器和檢測系統供應商,為全球電子組裝和半導體資本設備市場提供能夠提升制程產量和處理量的解決方案。該公司正在將自身調整為一家面向電子和通用計量市場的高精度專有3D傳感器開發商和制造商。該公司總部位于明尼蘇達明尼阿波利斯,通過在北美、亞洲和歐洲的部門開展全球運營。

 

有關該公司預期業績的陳述為前瞻性陳述,因此會受到風險和不確定性的影響,包括但不僅限于:全球SMT和半導體資本設備產業的市場條件;該公司產品銷售尤其是其SMT系統所面臨的不斷加劇的價格競爭和價格壓力;來自該公司OEM客戶的訂單水平;全球事件對該公司銷售的影響,其中多數來自國外客戶;競爭對手推出的新產品和定價情況;該公司在2013年余下時間內的收入和虧損情況;該公司2014年的收入水平和損益情況;能否成功把握預期新的OEM和較終客戶機會;以及在該公司向美國證券交易委員會提交的文件中所規定的其他因素。

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