紐約州立大學納米學院的全球450mm聯盟選擇將SOKUDO浸沒式ArF光刻Track技術嵌入大日本網屏在紐約的450mm成套工具中

大日本網屏制造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實，其子公司開發的SOKUDO DUO 450mm涂層/顯影系統(coat/develop track system)已被總部位于奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)納米科學與工程學院(CNSE)的全球450mm聯盟(G450C)選中，用于浸沒式ArF光刻技術和定向自組裝(DSA)應用。SOKUDO DUO將被嵌入位于CNSE的NanoFab Xtension內由大日本網屏提供的成套450mm清洗設備中。大日本網屏提供的450mm硅片刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統將部署在G450C計劃安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯·庫默(Andrew M. Cuomo)于2011年9月宣布組建的公共私營合作制(public-private partnership, PPP)聯盟，旨在促進該行業向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯盟由CNSE聯合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和臺積電(TSMC)牽頭組建。

SOKUDO DUO擬采用與450mm浸沒式ArF光刻系統一致的接口，并將于2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部，屆時將啟動所有安裝與參數特征化工作。此舉極力響應并支持2013年7月紐約州發布的一份公告，該公告計劃將于2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸沒式光刻系統。值得注意的是，作為與G450C達成協議的一部分，SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track工藝支持，從而實現450mm DSA圖案化測試晶圓制造用于G450C成員的設備開發。DSA圖案化功能也將集成入SOKUDO DUO中，用于輔助采用浸沒式ArF曝光的光刻工藝。

SOKUDO Co., Ltd.首席執行官兼大日本網屏半導體設備公司總裁Tadahiro Suhara表示：“總部位于紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅，能夠與他們并肩合作我們感到十分高興。大日本網屏集團參與G450C項目的深度印證了我們在450mm半導體制造設備開發中的領導地位。尤其值得自豪的是該項目選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統，此舉將鞏固我們長期作為前沿track供應商的地位。

CNSE制造創新副總裁兼G450C總經理Paul Farrar, Jr.,表示：“在安德魯·庫默州長的領導與宏偉愿景的指導下，紐約進一步成為產業向450mm晶圓技術實現關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本網屏的半導體設備公司繼續合作，并對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現重大轉變表示熱烈歡迎�！�

2013年7月，在美國西部半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO光刻技術早餐論壇上曾披露，SOKUDO DUO 按比例增大的一種450mm整片已經在大日本網屏工藝技術中心（位于日本彥根市）的潔凈室內運行一年以上。SOKUDO是首批極力支持該聯盟的公司之一，其推出了各種450mm薄膜涂層的測試晶圓，包括用于實現450mm納米壓印光刻圖案化、DSA功能及參數特征化的粘附性涂層。

作為半導體設備的領導企業，大日本網屏和SOKUDO將繼續推出世界一流的產品，為行業發展做出貢獻。

關于大日本網屏制造有限公司

大日本網屏成立于1943年，目前位居晶圓清洗與退火系統等半導體設備全球供應商前十強。多年以來，公司借助多年來開發的磁心映像處理、光刻與清洗技術，包括涉及平板顯示器、印刷電路板和媒體技術方面的業務，其規模已得到進一步擴大。網址：www.screen.co.jp/eng/

關于SOKUDO Co., Ltd.

SOKUDO是大日本網屏旗下子公司，專注于開發面向半導體生產的先進的涂層/顯影系統。其系列產品廣泛用于各種光刻應用（例如：i-line、KrF、浸沒式ArF、EUV、電子束），以及基板規格在50-450mm范圍內的各種利基市場。網址：www.sokudo.com

關于紐約州立大學納米科學與工程學院

紐約州立大學(SUNY)納米科學與工程學院(CNSE)是新興納米科學、納米工程、納米生物科學以及納米經濟學學科領域的全球一流的學院。CNSE是由大學推動的全球頂尖研究型企事業單位，其擁有超過200億美元的高科技投資及300多家企業合作伙伴。占地130萬平方英尺的奧爾巴尼NanoTech megaplex是匯聚有逾3100名科學家、研究人員、工程師及師生的大本營。網址：www.sunycnse.com

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