東芝為射頻/模擬應用推出新的低功耗MOSFET設備結構
東芝公司(Toshiba Corporation, TOKYO:6502)今天宣布使用CMOS兼容工藝開發高功率增益晶體管。該晶體管可有效降低高頻射頻/模擬前端應用的功耗。詳細信息將于
智能手機和平板電腦等無線和移動設備的快速增長正推動對低功耗和高性能射頻/模擬電路的需求。但是,由于晶體管擴展會導致噪音和能量增益效率的下降,因此很難將數字電路廣泛使用的先進設備和工藝技術應用至射頻/模擬電路。
東芝通過一種新設備結構(使用兩種不同材料作為一個金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵電極)和一種工藝整合方案(采用廣泛使用的常見半導體制造方法)解決了這一問題。這種方法實現了納米級柵長控制。
晶體管的實驗結果表明功耗顯著降低,并且作業速度沒有出現任何下降。
這種設備結構的獨特特征是兩種材料(n型硅和p型硅)之間的薄氧化物阻擋膜,這種膜可以抑制雜質互擴散。柵電極區域中可以實現高電場,從而提高放大器效率。不同的柵電極材料采用不同的柵氧化膜厚度。這種結構在飽和狀態下可實現控制良好的設備屬性,即便在低工作電壓下也可實現。
這種新設備制造工藝還適用于高級數字大規模集成電路制造所使用的高介柵極絕緣層。
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東芝是一家全球領先的多元化制造商、解決方案提供商以及先進電子電氣產品及系統的營銷商。東芝集團將創新和想象力帶入廣泛的業務之中,包括:LCD電視、筆記本電腦、零售解決方案和多功能一體機(MFP)在內的數碼產品;半導體、存儲產品和材料在內的電子器件;發電系統、智能社區解決方案、醫療系統以及扶手電梯和升降機在內的工業及社會基礎設施系統,以及家用電器。
東芝成立于1875年,如今已成為一家有著550多家附屬公司的環球企業,全球擁有202,000名員工,年銷售額逾6.1萬億日元(740億美元)。更多信息請訪問東芝網站:www.toshiba.co.jp/index.htm
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