摘　　　要：針對在納米級運動控制中，傳統(tǒng)ＰＩＤ算法的參數(shù)配置在抑制系統(tǒng)運動超調(diào)、提高系統(tǒng)定位精度，以及保障系統(tǒng)穩(wěn)定性等方面存在矛盾的問題，提出了將模糊自適應ＰＩＤ控制器應用于該系統(tǒng)的方案。并基于大量工程整定實驗，給出了針對納米量級控制特點的模糊集設置和模糊整定規(guī)則，選取了合理的ＰＩＤ參數(shù)論域取值。實驗結果表明，所設計的模糊控制器通過動態(tài)調(diào)整ＰＩＤ參數(shù)的增量，有效改善了微動臺系統(tǒng)的動態(tài)性能，降低了動態(tài)響應的超調(diào)，且保證了在一定擾動下系統(tǒng)小于±１０ｎｍ的定位精...