蔣　近，戴瑜興，郜克存，彭思齊
湘潭大學信息工程學院，湖南湘潭

湖南大學電氣與信息工程學院，湖南長沙

摘　　　要：為提高硅材料切割加工的精度，在分析多線切割機鋼絲線張力波動的基礎上，將無模型自適應控制和交叉耦合控制相結合，提出了一種多軸同步的間接張力控制策略。無模型自適應控制提高了系統動態響應的快速性，增強了系統的魯棒性，減小了跟蹤誤差，實現了準確跟蹤；交叉耦合控制用于消除各軸之間的增益參數和動態參數不匹配的影響，減小了同步誤差，實現了多軸同步。實驗結果表明所提出的控制方案十分有效，可提高多軸同步的運動精度，減小鋼絲線張力波動。

關　鍵　詞：張力控制；無模型自適應控制；交叉耦合控制；多軸同步

１　引　言
多線切割是通過一根鋼絲線的高速往復運動把磨料帶入硅棒進行切片加工，將待切割硅棒一次性同時切割成數百或數千片薄片的新型方法。多線切割機以其極高的生產效率逐漸取代內圓和外圓等傳統切割方式，所切硅片具有翹曲度小，平行度好，表面損傷層淺等優點［１］。張力控制是多線切割機的關鍵技術，可以在切割過程中不允許斷線，否則昂貴的硅棒將報廢；在切割過程中鋼絲線的穩定性決定了硅片加工的質量。為了提高硅材料切割加工的精度，在分析多線切割機鋼絲線張力波動的基礎上，針對鋼絲線張力波動的問題上，將無模型自適應控制和交叉耦合控制相互結合，提出了一種多軸同步的間接張力控制策略。

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