半導體激光器波長調(diào)節(jié)
半導體激光器的輸出波長取決于發(fā)射層中材料的帶隙。早期,半導體二極管激光器中的帶隙由二元III–V族化合物的性質(zhì)決定,隨后技術上的進步使得通過調(diào)節(jié)半導體的組分和結構來調(diào)節(jié)波長成為可能。
首先是發(fā)展三元化合物,如鎵鋁砷(GaAlAs),它能夠與砷化鎵(GaAs)襯底晶格匹配,當鋁的成分增加時,發(fā)射波長藍移。然而,GaAlAs并不能夠與GaAs的晶格非常好地匹配,因此較關鍵的一步是四元化合物,如InGaAsP,這提供了匹配晶格間距以及所需波長的第二個自由度。MIT林肯實驗室的J. Jim Hsieh實現(xiàn)了這一步,1977年他報道了室溫下運行的InGaAsP激光器輸出1.25µm的激光。[10]隨后不久,也是在InP襯底上,成分略有不同的InGaAsP激光器問世,應用于1.3µm和1.55µm的低損耗光纖窗口。通過調(diào)整四種元素的組分,InGaAsP激光器的輸出波長覆蓋了一個重要的波長范圍。
圖解:激光手術所需的直接帶隙的III - V族化合物的半導體二極管激光器的波長與晶格間距之間的關系。(LEDC摘自LaserFocusWorld China)
通過優(yōu)化GaAs襯底激光器的發(fā)射材料組分,可將其輸出波長拓展到紅光范圍,例如使用AlGaInP可使輸出波長短至620nm。此后,1996年日亞公司(Nichia)的Shuji Nakamura發(fā)明了氮化銦鎵(GaInN)半導體激光器,激光跨入了光譜的藍光波段(編者按:據(jù)中科院院士甘子釗在前不久在深圳西麗舉辦的“12th全國LED產(chǎn)業(yè)研討與學術會議”上指出:目前綠光激光器的研究就中村團隊有所進展)。藍光半導體激光器目前屬于標準產(chǎn)品,但綠光半導體激光器仍然很難實現(xiàn)。在今年1月份的Photonics West 2010會議上,startup Kaai公司的Nakamura報道已經(jīng)開發(fā)出了523nm的InGaN半導體激光器,填補了在半導體激光器在輸出光譜中的空缺。
光泵浦使半導體激光器能夠?qū)崿F(xiàn)其他輸出波長,同時避免了需要高電流密度通過半導體。這擺脫了設計上的約束,因此量子阱結構能夠?qū)崿F(xiàn)其他激光器無法得到的波長。泵浦二極管照射薄半導體碟片的表面,該碟片的表面附近具有量子阱層,量子阱在外腔中共振并發(fā)光,產(chǎn)生高強度、高質(zhì)量的光束。這些裝置被稱為OPSL(光泵浦半導體激光器)或VECSEL(垂直外腔表面發(fā)射激光器),基本輸出在近紅外,可在激光腔內(nèi)倍頻成可見光。其設計可與特定波長匹配,如氦鎘激光器的441nm激光,或治療糖尿病視網(wǎng)膜病的557nm黃光。
另一種新穎的結構是1994年由貝爾實驗室的Federico Capasso發(fā)明的量子級聯(lián)激光器,這種激光器中的電子在一個偏置的半導體中通過量子阱堆疊。在每個量子阱中,電子落到導帶中更低的次能級,并發(fā)射一個光子,這個光子的波長取決于激光器的結構和組成。量子級聯(lián)激光器提供了獲得中、遠紅外波段難以實現(xiàn)的激光波長的方便途徑,還可用于產(chǎn)生太赫茲頻率。
此外,非線性光學提供了產(chǎn)生新的波長的強大工具。高功率飛秒脈沖的高次諧波產(chǎn)生,可以產(chǎn)生極紫外波段的相干光。非線性過程可以產(chǎn)生一個倍頻程或更寬的超連續(xù)譜,以及飛秒頻率梳,這是一項獲得諾貝爾獎的創(chuàng)新,能夠以驚人的精度測量光頻。
本段文字摘自《激光世界》2010年7月刊封面故事 “激光五十年 — 激光器的輸出波長在光譜上不斷拓展”。
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