專為半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供工藝控制及成品率管理解決方案的全球領(lǐng)先供貨商 KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC) 宣布推出了 8900 缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，正式將系列產(chǎn)品之觸角延伸至 CMOS 影像感應(yīng)器 (CIS) 市場(chǎng)。KLA-Tencor 公司的全新產(chǎn)品 8900 提供可選光波長(zhǎng)、與 CIS 像素匹配的色彩，以及同步明場(chǎng)和暗視野的光通道，能捕捉各種缺陷類型；并有可調(diào)靈敏度及產(chǎn)能設(shè)定功能，為從初始產(chǎn)品開發(fā)到濾色鏡陣列 (CFA) 大規(guī)模生產(chǎn)提供具有成本效益的缺陷管理。
影像感應(yīng)器是可將光線轉(zhuǎn)換成電子訊號(hào)的裝置，主要用于相機(jī)。濾色鏡可讓感應(yīng)器的每個(gè)像素對(duì)特定色彩 (一般而言是指紅色、綠色或藍(lán)色 (RGB)) 做出反應(yīng)。CFA 是由單色圖形層建構(gòu)而成，其中每個(gè)感應(yīng)器像素上都有一個(gè)濾鏡。每個(gè)像素上都有一個(gè)微透鏡。組裝流程的任何步驟都可能產(chǎn)生良率限制缺陷，8900 可檢測(cè)任一濾鏡或微透鏡層，有助于減少材料浪費(fèi)且縮短生產(chǎn)周期。
8900 缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已于近期安裝在濾色鏡行業(yè)領(lǐng)頭羊 - Toppan Printing Company, Ltd. - 的第一個(gè) 300mm 先進(jìn) Color Filter 廠內(nèi)。“先進(jìn)的缺陷控制是決定我們能否以可靠方式提供先進(jìn)的濾色鏡的重要因素，8900 已大幅改良了缺陷控制功能并變更了我們的策略。”Toppan Electronics Products Co., Ltd. 熊本廠OCF 部門總經(jīng)理 Keiichi Hara 說道，“因?yàn)?8900 對(duì)于各種缺陷類型都相當(dāng)靈敏，并可大幅提高產(chǎn)能，所以可以用其執(zhí)行 CFA 工藝涉及的所有缺陷檢測(cè)。此前，完成此操作需采用多種檢測(cè)工具。8900 也可以自動(dòng)執(zhí)行缺陷監(jiān)控工作(之前需要手動(dòng)檢測(cè))，有助于縮短生產(chǎn)周期和預(yù)測(cè)上市時(shí)間。”
“影像感應(yīng)器晶片廠已經(jīng)綜合使用各種缺陷檢測(cè)系統(tǒng) (包含手動(dòng)檢測(cè))，以覆蓋 CFA 流程開發(fā)、生產(chǎn)線監(jiān)控和進(jìn)廠及出廠之質(zhì)量控制。”KLA-Tencor SWIFT 部門副總裁暨總經(jīng)理 Oreste Donzella 說，“實(shí)施這種策略會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤和低效率。例如，手動(dòng)檢測(cè)結(jié)果的可變性很大。即使使用自動(dòng)化系統(tǒng)，也可能會(huì)遺漏掉關(guān)鍵的缺陷偏移問題，因?yàn)楸容^不同系統(tǒng)的結(jié)果非常困難。在開發(fā) 8900 時(shí)，我們利用了 KLA-Tencor 在明場(chǎng)和暗視野微觀及宏觀檢測(cè)的豐富經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)而為影像感應(yīng)器晶片廠提供單一且有彈性的系統(tǒng)，盡力滿足他們?cè)?CFA 檢測(cè)方面的需求。我們相信 8900 可幫助晶片廠改良資源配置、提升目前產(chǎn)品之良率并縮短其較新影像感應(yīng)器的上市時(shí)間。”
8900 缺陷檢測(cè)系統(tǒng)的主要功能有：
• 同步明場(chǎng)及暗視野光學(xué)路徑，可捕捉單一通道中的各種缺陷類型，例如微透鏡變形、阻抗及落面缺陷、色彩沾污、大污點(diǎn)及條痕；
• 可選 LED 檢測(cè)，CIS 濾境色彩匹配光譜檢查 ；
• 符合先進(jìn) CIS 路徑圖要求的靈敏度；
• 在保持生產(chǎn)靈敏度下每小時(shí) 300mm 半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)能達(dá) 110 晶圓以上；
• 依類型自動(dòng)裝倉(cāng)缺陷；
• 自動(dòng)感應(yīng)器決定錯(cuò)置通過/不過關(guān)；
• 自動(dòng)檢查色彩以驗(yàn)證缺陷。
如想取得 8900 的更多技術(shù)詳細(xì)數(shù)據(jù)，請(qǐng)參看產(chǎn)品網(wǎng)頁：http://www.kla-tencor.com/patternedwafer/8900.html。
關(guān)于 KLA-Tencor：
KLA-Tencor Corporation（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）是工藝控制與良率管理解決方案的領(lǐng)先提供商，它與全球客戶合作，開發(fā)先進(jìn)的檢測(cè)與度量技術(shù)。這些技術(shù)為半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、化合物半導(dǎo)體、光電及其它相關(guān)奈米電子產(chǎn)業(yè)提供服務(wù)。公司擁有廣泛的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品組合及世界一流的工程師與科學(xué)家團(tuán)隊(duì)，三十余年來為客戶努力打造優(yōu)秀的解決方案。KLATencor的總部設(shè)在美國(guó)加利福尼亞州 Milpitas，并在全球各地設(shè)有專屬的客戶運(yùn)營(yíng)與服務(wù)中心。如需更多信息，請(qǐng)參觀網(wǎng)站 www.kla-tencor.com。(KLAC-P)