意法半導(dǎo)體（ST）以先進(jìn)的技術(shù)引領(lǐng)壓力傳感器邁向新性能境界

新款微型壓力傳感器采用創(chuàng)新的MEMS制造技術(shù)，可提供極其精確的壓力檢測功能

中國，2010年11月30日 —— 從地下750米的深處到珠穆朗瑪峰頂端，智能手機(jī)以及其它便攜設(shè)備在不久的未來將能夠確定所在位置的海拔高度變化，全球較大的消費電子和便攜設(shè)備MEMS傳感器供應(yīng)商意法半導(dǎo)體[1]（紐約證券交易所代碼：STM）以較新推出的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）壓力傳感器成功地實現(xiàn)這個概念。

新產(chǎn)品LPS001WP是一款微型壓力傳感器，采用創(chuàng)新的傳感技術(shù)，能夠精確地測量壓力和海拔高度。該產(chǎn)品采用超輕巧、薄型封裝，特別適用于智能手機(jī)、運(yùn)動型手表、各種不同的便攜設(shè)備、氣象站，以及汽車和工業(yè)應(yīng)用。

意法半導(dǎo)體MEMS、傳感器以及高性能模擬產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示：“MEMS技術(shù)讓我們不斷地開發(fā)出可測量各種物理參數(shù)的新一代傳感器產(chǎn)品，例如線性運(yùn)動傳感器、角動作傳感器、壓力傳感器以及磁力傳感器等；同時，這些創(chuàng)新產(chǎn)品的制造成本不斷地降低，測量精密度也相對不斷地提高。這些傳感器的用途廣到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了我們的想象。”

這款產(chǎn)品的首要目標(biāo)應(yīng)用之一是進(jìn)階型的便攜式GPS定位設(shè)備，傳統(tǒng)的GPS定位功能只能確定設(shè)備的2D位置。在整合LPS001WP壓力傳感器后，同一款設(shè)備將能提供精確的3D定位功能；舉例來說，當(dāng)整合壓力傳感器的GPS導(dǎo)航手機(jī)發(fā)送緊急求助呼叫時，消防人員、醫(yī)療救護(hù)人員或警察人員將能根據(jù)接收到的呼叫信號確定事故發(fā)生的具體所在位置和樓層。

LPS001WP的壓力檢測量程從300毫巴至1100毫巴，相當(dāng)于從-750米到+9000米海拔高度之間的氣壓，可檢測到較小0.065毫巴的氣壓變化，相當(dāng)于80厘米的海拔高度。該產(chǎn)品采用意法半導(dǎo)體獨有的VENSENS制程，能夠?qū)�壓力傳感器整合在單一晶片上，不但可以�?jié)省晶圓對晶圓的鍵合工序，還可較大幅度地提升產(chǎn)品的可靠性。

LPS001WP內(nèi)的壓力傳感器是通過覆蓋在氣腔上的柔性硅薄膜檢測壓力變化（其中氣隙是可控制的，壓力也已經(jīng)定義）。與傳統(tǒng)的硅微加工薄膜相比，新產(chǎn)品的薄膜非常小，內(nèi)建的微機(jī)械止動結(jié)構(gòu)可防止氣壓破壞薄膜。這個薄膜包括電阻值隨著外部壓力變化而改變的微型壓電電阻器。壓力傳感器監(jiān)控硅薄膜電阻的變化，采用溫度補(bǔ)償方法修正變化偏差，把檢測到變化信息轉(zhuǎn)換成二進(jìn)制比特數(shù)據(jù)，通過工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)I2C或SPI通信接口將數(shù)據(jù)傳送至設(shè)備主處理器。

LPS001WP的主要技術(shù)特性：

• 0.065毫巴的高分辨率：能夠檢測較小80厘米的海拔高度變化；

• 意法半導(dǎo)體獨有的VENSENS技術(shù)，擁有高耐破裂強(qiáng)度，較高強(qiáng)度值達(dá)全量程的20倍；

• 內(nèi)置溫度傳感器，可調(diào)整溫度范圍；

• 所有器件均在晶圓廠完成壓力和溫度校準(zhǔn)，無需在出貨前進(jìn)行；

• 采用小型塑膠基板柵格陣列：HCLGA-8L封裝，該封裝上有一個通風(fēng)孔，外部壓力通過封裝上的通風(fēng)口與傳感元件接觸；

以大規(guī)模低成本的應(yīng)用為目標(biāo)市場，意法半導(dǎo)體的MEMS傳感器擁有從晶圓加工到封裝測試的完整制造供應(yīng)鏈優(yōu)勢。 LPS001WP是不斷成長的意法半導(dǎo)體MEMS傳感器系列的較新產(chǎn)品。 LPS001WP將于2010年12月上市。

關(guān)于意法半導(dǎo)體

意法半導(dǎo)體是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體解決方案提供商，為各種應(yīng)用領(lǐng)域的電子設(shè)備制造商提供創(chuàng)新的解決方案。憑借公司掌握的大量技術(shù)、設(shè)計能力和知識產(chǎn)權(quán)組合、戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系和制造實力，意法半導(dǎo)體矢志成為多媒體融合和功率應(yīng)用領(lǐng)域無可爭議的行業(yè)領(lǐng)袖。2009年，公司凈收入85.1億美元。詳情請訪問意法半導(dǎo)體公司網(wǎng)站 www.st.com 或意法半導(dǎo)體中文網(wǎng)站 www.stmicroelectronics.com.cn

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